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9BF-1M5L精密双面平面研磨机/ 9BF-1M5P精密双面平面抛光机

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9BF-1M5L精密双面平面研磨机/ 9BF-1M5P精密双面平面抛光机

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产品描述
一、主要用途
本机主要通用于硅片、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨抛光。
1、压力精密控制:PLC+PT+精密减压所实现压力开环控制;
3、精密传动系统:高精度小齿隙全齿轮传动;
4、下盘支撑:高精度平面流体轴承支撑;
5、销齿传动内外齿采用销齿传动,延长载体使用寿命维护便捷;
6、传动系统:三电机同步拖动,上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转,也可反转)转速可任意设足,县有配方功能
 
二、技术参数
 
序号 项目 规格参数
1 上下盘尺寸 Φ640mm×Φ235mm×30mm(研磨)
Φ640mm×Φ235mm×30mm(抛光)
2 游星轮 参数 Z=114,DP12,α=20
数量 5个
3 驱动电机 4.0kW AC380V 50Hz 1460rpm(研磨)
5.5kW AC380V 50Hz 1460rpm(抛光)
4 下盘转速 0~60rpm
5 精度指标 上、下盘平面度 ≤0.015mm
下盘端跳 ≤0.05mm
6 加工范围 最大加工尺寸 Φ150mm
最小加工厚度 0.15mm(≤2"片)
整盘承载量 9×5=45片(2" 圆片)
7 水源   纯水或自来水
8 电源 功率 5.0kW AC380V 50Hz (研磨)
6.5kW AC380V 50Hz (抛光)
线缆规格 三相五线刮.3×4mm²+2×2.5mm²
9 气源 压力 压缩空气源0.4-0.5Mpa
接管口径 接口Φ10mm(外径)
10 外形尺寸   宽×长×高:1040mm×1400mm×2360mm
11 重量   约2200Kg

 

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